Anwendung
Das VT 1200 der Firma XONOX Technology GmbH dient der interferometrischen Analyse feinstgeschliffener und polierter Oberflächen unterschiedlichster Bauteilgeometrien. Das Gerät ermöglicht dabei die messtechnische Auswertung von optischen Komponenten mit Durchmessern zwischen 1 bis 150 mm und unterstützt Objektive bis zu einem Durchmesser von 6 Zoll. Hierbei wird eine laterale Auflösung von ≤ 0,1 µm und eine Messgenauigkeit von min. λ/10 durch einen Diodenlaser mit einer Wellenlänge von 633 nm erreicht. Neben der Überprüfung von Planflächen und Sphären ermöglicht das System ebenfalls präzise Radienmessungen im Bereich von ≤ 2 mm bis unendlich. Des Weiteren kann eine Wellenfrontanalyse durchgeführt werden. Durch die Verwendung eines vertikalen Aufbaus ist eine große Messlänge von 1200 mm realisierbar, während nur eine kleine Aufstellfläche von ca. 1 m² benötigt wird. Dank der vielseitigen Anwendungsmöglichkeiten unterstützt das Fizeau-Interferometer die Qualitätskontrolle von Oberflächen innerhalb der Forschung und Entwicklung optischer Bauteile sowie deren Fertigungsprozesse.

Finanziert über Mittel des Bundesministeriums für Forschung, Technologie und Raumfahrt (Förderkennzeichen 13FH039KX2) und der Deutschen Forschungsgesellschaft (Förderkennzeichen 528591139 -FIP 31)