ProCMP – Prozessüberwachtes CM- und C-Polieren von optischen Bauelementen zur Erreichung extrem hoher Oberflächengüten

ProCMP 
Kurzbeschreibung
Mit den wachsenden Anforderungen an die Hochleistungsoptik haben sich auch die Polierverfahren in den letzten Jahren stark weiterentwickelt. Besonders die Fertigung komplexer, asphärischer Flächen und die zunehmende Verwendung von Freiformflächen stellen die Branche vor neue Herausforderungen und bieten dabei gleichzeitig großes Potenzial für Innovationen in der optischen Bearbeitung.

Im Rahmen des Projekts „ProCMP“ wird eine neue, hocheffiziente Prozesskette zur Bearbeitung sprödharter Komponenten entwickelt. Ziel ist es, Oberflächen von höchster Qualität zu erzielen und gleichzeitig die Prozesseffizienz zu optimieren.
Nach der Formgebung mittels innovativer Verfahren, wie der ultraschallunterstützten Schleifbearbeitung und dem Ultra-Feinstschleifen mit kunstharzgebundenen Diamantwerkzeugen, kommt ein chemisch-mechanisches Polieren mittels eines modernen CNC-gesteuerten 6-Achs-Poliersystems zum Einsatz. Durch die Anwendung und Optimierung unterschiedlichster Poliertechnologien (z.B. Synchro-Speed, A-WPT, A-FJP) im Bereich des chemisch-mechanischen Polierens können zum einen einfache sowie komplexe Oberflächen zeiteffizient und hochgenau bearbeitet werden. Für schwer zugängliche Bereiche, bei denen herkömmliche Poliermethoden an ihre Grenzen stoßen, folgt zum anderen ein hybrides chemisches Politur-Verfahren mit Ultraschallunterstützung. Somit können hervorragende Oberflächenqualitäten in einem effizienten Prozess gewährleistet werden.
Weiterhin erfolgt eine Prozesskontrolle der beschriebenen Polierverfahren. Kernstück der Prozessüberwachung ist dabei ein impedanzspektrometrisches System, das die Poliermittelsuspension kontinuierlich überwacht. Die gewonnenen Daten werden über ein spezielles Verarbeitungssystem ausgewertet, wodurch der Polierprozess nicht nur besser verstanden, sondern auch gezielt optimiert werden kann.


Projektlaufzeit:

01.07.2025 – 30.06.2027

Projektpartner:

Ilmsens GmbH

VM-TIM GmbH

Programm:

Förderprogramm des Freistaats Thüringen zur Förderung von Forschung, Technologie und Innovation (FTI)

Gefördert durch:

TMWLLR/TAB mit der Vorhabens-Nr. 2024 VFE 0123

TAB Verbund


Ansprechpartner:

Prof. Dr.-Ing. Jens Bliedtner

M.Eng. Thekla Boeckh

M.Eng. Christian Schulze