TruMicro TM 5050

Anwendung
Die UKP-Laseranlage wird hauptsächlich für die industrienahe Forschung und Entwicklung an der EAH Jena eingesetzt. Dabei werden Applikationen, Machbarkeitsstudien und technologische Entwicklungen zur Mikrostrukturierung in den Bereichen Optiktechnologie, Feinwerktechnik, Medizintechnik und Fertigungstechnik durchgeführt.
Weiterhin werden Studierende in laufende Projektthemen integriert und mit eigenverantwortlichen Aufgabenstellungen in Abschlussarbeiten an der Systemtechnik ausgebildet.

 

Technische Daten

Laser – TruMicro 5050
Mittlere Leistung 50 W
Wellenlänge 1030 nm
Pulsdauer <10 ps
Max. Pulsenergie 250 µJ
Intensität 0,7 GW/cm2
Repetitionsrate 200 kHz
Strahlstabilität M2 <1,1
Polarisation linear >1:500
Rohstrahldurchmesser 4,5 mm
Scanner / Optiken – Hurryscan II 14 (RTC 4)
Scangeschwindigkeit 2 m/s
Brennweiten (F-Theta) 100 mm/ 45 mm
Fokusdurchmesser 30 µm / 15 µm
Scanfeld 60x60 mm2/ 8x8 mm2
Rayleighlänge 560 µm /150 µm
Positioniersystem auf Granitportal (im Aufbau)
luftgelagerte X,Y Achsen mit Linearantrieben
Bahnkurvenansteuerung (X,Y), Positionsauflösung 0,1 µm
Z-Achse mit Spindeltrieb
Positionsungenauigkeit 7 µm auf 100 mm (Z)
Vorschub bis 8 m/min
Bauraum 300x40mx200 mm3

Gefördert durch:

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