Kurzzusammenfassung

Das Ziel der Laserstrahlpolitur (LSP) ist die gleichmäßige und formerhaltende Glättung des Rauheitsprofils einer Quarzglasoberfläche in kürzester Zeit. Die Laserstrahlung wirkt dabei unabhängig von der Geometrie der zu polierenden Oberfläche in der Art eines schnellen Subaperturwerkzeuges. Die Untersuchungen der Prozesseinflussgrößen, der Wechselwirkungen zwischen Laserstrahlung und Quarzglas sowie die Auswertung der Ergebnisse hinsichtlich Oberflächenqualität, der Beeinflussung von Spannungen und mechanischen Eigenschaften, unterstützen die Entwicklung eines industriell einsetzbaren Laserstrahlpolierverfahrens.