HRSSD - High-Resolution-Measurement of Sub-Surface-Damages

Grafik HRSSD

Kurzbeschreibung
Sub-Surface-Damages (SSD) sind Tiefenschädigungen in Form von Mikrorissen, welche durch den Schleif- und Läppprozess in optische Bauteile induziert werden. Die Tiefe dieser Risse bestimmt den notwendigen Mindestabtrag des aufwendigen Polierprozesses. Eine Kenntnis über die exakte Tiefe der SSD kann zu einer Optimierung der Prozesszeiten für das Polieren genutzt werden. Dadurch sind relevante Kostenreduzierungen bei der Fertigung optischer Bauteile möglich. Das derzeitige Standardverfahren zur Bestimmung der Risstiefe ist destruktiv. Daher ist nur eine Stichprobenmessung möglich und eine gewisse Sicherheit muss beim Abtrag durch den Polierprozess vorgehalten werden.
In Kooperation mit der OPTEG GmbH wird im Rahmen des Projekts ein auf optischer Kohärenztomographie basierendes Verfahren entwickelt, welches eine zerstörungsfreie Bestimmung der SSD ermöglicht. Ziel ist neben der Entwicklung des Messverfahrens selbst, eine Integration dieses in eine Prozesskette zur Bearbeitung optischer Oberflächen mittels Ultrakurzpulslaser.
Die Ernst-Abbe-Hochschule nutzt ihre Kompetenz in der Optiktechnologie und Lasermaterialbearbeitung zur Erzeugung von Referenzproben und deren Messung mit etablierten Verfahren, um Kalibriernormale zu schaffen. Ebenso übernimmt die EAH die Prozessentwicklung der Bearbeitungsverfahren mittels Ultrakurzpulslaser.

 

Projektlaufzeit:

01.09.2016 - 31.08.2018

Projektsumme:

0,5 Mio. €

Projektpartner:

OPTEG GmbH - Leipzig

Gefördert durch:

Bundesministerium für Wirtschaft und Energie aufgrund eines Beschlusses des Deutschen Bundestages

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Ansprechpartner:

Prof. Dr.-Ing. Jens Bliedtner

M.Eng. Michael Seiler

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